Advances in the modeling of MOVPE processes

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• 来源
  《Journal of Crystal Growth》 |2003年第2期|p.1-7|共7页
• 作者

  S.Yu. Karpov;

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• 作者单位

  Soft-Impact, Ltd., P.O. Box 33, 27 Engels av., St. Petersburg 194156, Russia;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 晶体学;
• 关键词

  A1. computer simulation; A1. surface processes; A1. segregation; A3. metalorganic vapor phase epitaxy; B1. nitrides; B2. semiconducting Ⅲ―Ⅴ materials;

  机译：A1。计算机模拟;A1。表面工艺;A1。隔离A3。金属有机气相外延;B1。氮化物B2。半导体Ⅲ―Ⅴ材料;