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【24h】

Plasma Absorption of Femtosecond Laser Pulses In Dielectrics

机译:飞秒激光在电介质中的等离子体吸收

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摘要

Dielectric (high bandgap) materials represent an important and diverse class of materials in micro and nanotechnology, including MEMS devices, biomedical and bioengineering systems, multilayer thin film coatings, fiber optics, etc. Micromachining dielectrics using ultrafast lasers is an exciting and promising new research area with many significant advantages, including precision material removal, negligible heating of the workpiece, micron and sub-micron-size feature fabrication, and high aspect ratio features.
机译:介电(高带隙)材料代表了微米和纳米技术中一种重要且种类繁多的材料,包括MEMS器件,生物医学和生物工程系统,多层薄膜涂层,光纤等。使用超快激光进行微加工电介质是一项令人兴奋且充满希望的新研究该区域具有许多显着的优势,包括精确的材料去除,可忽略的工件加热,微米和亚微米尺寸的特征制造以及高长宽比的特征。

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