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大気圧マイクロギャップ・グロー放電の生成

机译:大气压微间隙辉光放电的产生

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摘要

機能性材料や半導体デバイスのための薄膜生成・微細加工にプラズマが大きく貢献している。特に,ガス温度に比べて電子温度の高い熱的非平衡プラズマが使われている。このようなプラズマは高周波・マイクロ波・パルス電力により生成される。プラズマ装置は放電容器,真空排気装置,ガス供給系,電力供給用のコイル・電極,高周波・マイクロ波・パルス等の電源から構成され,複雑なシステムとなっている。この場合,典型的なプラズマの寸法は10cm以上である。一方,カーボンナノチューブをはじめとするナノメートルサイズの物質を合成するときにも,プラズマが活用されている。
机译:等离子体极大地有助于功能材料和半导体器件的薄膜形成和微加工。特别地,使用电子温度高于气体温度的热非平衡等离子体。这种等离子体是由高频,微波和脉冲功率产生的。等离子设备是一个复杂的系统,由放电容器,真空排气设备,气体供应系统,用于电源的线圈/电极以及用于高频,微波,脉冲等的电源组成。在这种情况下,典型的等离子体尺寸是10cm或更大。另一方面,在合成诸如碳纳米管的纳米级材料时也使用等离子体。

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