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【24h】

Idle vehicle circulation policies in a semiconductor FAB

机译：半导体FAB中的车辆空转政策

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Idle vehicle handling is addressed for the path-based automated material handling system (AMHS) in a semiconductor fabrication line. Since a typical semiconductor fabrication line has a single path in each bay and no sidetracks to park idle vehicles, a vehicle should be dispatched to somewhere if necessary even without a new assignment to prevent blocking of other vehicles. We investigate the continuous-move policy, the move-when-necessary policy and their variants. Our simulations show that the idle vehicle circulation policy significantly affects the AMHS productivity, so the policy should be carefully designed for the AMHS instance.
机译：半导体生产线中基于路径的自动材料处理系统（AMHS）解决了空转车辆的处理问题。由于典型的半导体生产线在每个隔间中只有一条路径，并且没有任何旁道来停放闲置的车辆，因此，如有必要，即使没有进行新的分配以防止其他车辆阻塞，也应将车辆调度到某个地方。我们研究了连续移动策略，必要时移动策略及其变体。我们的仿真表明，怠速车辆循环策略会极大地影响AMHS的生产率，因此应针对AMHS实例精心设计该策略。

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