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【24h】

知的なはかり方とは?精度を左右する計測アルゴリズム

机译:什么是智能秤?影响精度的测量算法

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摘要

機械加工においては,得られる加工物の精度は,加工に用いる工作機械(マザーマシン)の精度を超えることができない,いわゆる「母性原理」がはたらくことが広く知られている.これは計測においても同様であり,昨今ではサブnm級の測定分解能を有する変位センサ等が比較的簡単に入手可能であるが,これを精密スライド等に搭載して走査しワークの形状を測る,いわゆる走査型の測定機においては,精密スライドの運動精度が測定の精度を律することになる.そのためnm級の測定精度が要求される場面においては,スライドの運動精度の影響を取り除いてワーク形状を評価する必要がある.
机译:在加工中,众所周知的是所谓的“母体原理”,其中获得的工件的精度不能超过用于加工的机床(母机)的精度。类似地,近来,相对较容易获得具有亚纳米级测量分辨率的位移传感器,但它们被安装在精密载玻片上并进行扫描以测量工件的形状,即所谓的扫描型测量。在机器中,精密滑块的运动精度决定了测量的精度,因此,在需要nm级的测量精度时,有必要去除滑块的运动精度的影响以评估工件形状。 。

著录项

  • 来源
    《日本機械学会誌》 |2015年第1164期|668-671|共4页
  • 作者

    清水 裕樹; 高 偉;

  • 作者单位

    東北大学 大学院工学研究科ナノメカニクス専攻(〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01);

    東北大学 大学院工学研究科ナノメカニクス専攻(〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01);

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