原子スケール精度を実現可能？STMとメトロロジー

明田川　正人

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原子スケール精度を実現可能？STMとメトロロジー

机译：是否有可能达到原子级精度？ STM和计量

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半導体製造など微細加工技術の進展に伴い，サブナノメートル以下の分解能をもつ測長あるいは変位測定技術が産業界で必須となっている.原子の大きさはおよそ0.2nm〜0.3nm(サブナノメートル)であり，まさに原子スケール精度の実現を産業界が求めている.1980年代に発明された走査型トンネル顕微鏡(STM)は，結晶格子表面の原子像を初めて捉えることに成功した.本稿では，STMとメトロロジーの一つの例として，グラファイト格子間隔をSTMで捉え，これを基準とする長さ測定について紹介する.

机译：随着半导体制造等微细加工技术的发展，具有亚纳米分辨率的长度测量或位移测量技术在工业中已不可或缺，原子尺寸约为0.2 nm至0.3 nm（亚纳米）。业界要求实现原子级精度，于1980年代发明的扫描隧道显微镜（STM）首次成功捕获了晶格表面的原子像。作为度量的示例，我们将在STM中引入石墨晶格间距，并据此测量长度。

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来源
《日本機械学会誌》 |2015年第1164期|676-679|共4页
作者
明田川　正人;
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作者单位

長岡技術科学大学　大学院機械創造工学専攻(〒940-2188　長岡市上富岡町1603-1);

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