「プラズマ応用技術の新展開」小特集号発刊に際して

梅原　徳次; 上坂　裕之

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「プラズマ応用技術の新展開」小特集号発刊に際して

机译：关于“等离子体应用技术的新发展”特刊的出版

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プラズマ応用技術は現代社会を支える基盤技術となっている.多少なりとも工学に精通している方なら，半導体デバイス製造工程におけるプラズマエッチングやプラズマCVD.宇宙環境下における推進機構(例：はやぶさのECRイオンエンジン).プラズマ核融合,料合成(例：ダイヤモンドやチタン系硬質膜)，表面改質(例：官能基導入)などの例を挙げることができよう.

机译：等离子体应用技术是支持现代社会的基础技术，如果您对半导体器件制造过程中的工程学，等离子体蚀刻或等离子体CVD有所了解，那么太空环境中的推进机制（例如eg鸟ECR）离子引擎）的示例包括等离子体融合，材料合成（例如，基于金刚石或钛的硬膜），表面改性（例如，引入官能团）等。

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来源
《日本機械学会誌》 |2014年第7期|433-433|共1页
作者
梅原　徳次; 上坂　裕之;
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作者单位

名古屋大学　大学院工学研究科機械理工学専攻　名古屋大学プラズマナノ工学研究センター　〒464-8603名古屋市千種区不老町;

名古屋大学　大学院工学研究科機械理工学専攻　〒464-8603名古屋市千種区不老町;

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