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専門家間のMEMS技術相互理解

机译:专家相互了解MEMS技术

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摘要

私は40年ほど前,学生や助手の時代に半導体微細加工によるバイオケミカルセンサを開発し,その後助教授時代に集積回路教育を,教授になってからは集積化MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の研究を行っている.
机译:大约40年前,当我还是一名学生和助手时,我通过半导体的微细加工开发了一种生化传感器,之后,当我是副教授时,我教集成电路教育。它被执行。

著录项

  • 来源
    《日本機械学会誌》 |2011年第1107期|p.96-97|共2页
  • 作者

    江刺 正喜;

  • 作者单位

    東北大学 原子分子材料科学高等研究機構〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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