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【24h】

高圧酸素環境場で光触媒反応を重畳させた革新的加工法:密閉式ベルジャ型CMP装置

机译：高压氧气环境中具有光催化叠加反应的创新处理方法：密闭钟罩式CMP装置

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高性能部品用の材料の加工ではとく に最終仕上げ加工が最も重要であり， 超精密ともいえる加工法にはCMP （ChemicalMechanicalPolishing）が 採用される．筆者らは，より高度な革 新的CMP技術の研究開発の一環とし て，加工部全体の雰囲気をコントロー ルし一定の圧力環境下で加工する新し いCMP装置を考案したので紹介する．
机译：最终精加工对于高性能零件的材料加工至关重要，而CMP（化学机械抛光）被认为是一种超精密的加工方法。作为对更先进和创新的CMP技术的研究和开发的一部分，作者介绍了一种新的CMP设备，该设备控制整个处理区的气氛并在恒定压力环境下执行处理。

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