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電子顕微鏡内で動作する顕微解剖用小型AFMの開発

机译：开发用于电子显微镜的显微解剖小型AFM

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摘要

ナノテクノロジーの研究を支えるナrnノスケールでの顕徴観察技術として走rn査型プローブ顕微鏡（Scanning ProbernMicroscope：SPM）がある．SPMはrn今日，観察手段のみでなく，微細加工rnやマニピュレータとしての技術開発がrn盛んに取り組まれている．装置はシンrnプルで比較的低コストでありながら高rnい位置決め精度を有していることかrnら，次世代のナノエレクトロニクスにrnおける基礎的なデバイスの試作技術やrnバイオ試料のマニピュレーションなどrnに注目されている．
机译：扫描探针显微镜（SPM）是一种用于在纳米尺度上观察表现的技术，该技术支持纳米技术的研究。 SPM rn如今，不仅观察手段，而且微细加工和作为机械手的技术发展都在积极进行。该设备薄且成本相对较低且定位精度较高，例如rn等人的基本设备原型技术和下一代纳米电子学中的生物样品处理。注意rn。

著录项

  • 来源
    《日本機械学会誌》 |2009年第1091期|850-850|共1页
  • 作者

    岩田　太;

  • 作者单位

    静岡大学;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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