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【24h】

共焦点顕微鏡・ラマン分光複合装置による応力・ひずみ測定: MEMSの信頼性評価への適用

机译：共聚焦显微镜/拉曼光谱组合装置的应力/应变测量：在MEMS可靠性评估中的应用

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半導体の製造プロセスを応用し，微小な構造体を作製するマイクロマシニングメカニカルシステム（MEMS）が広く研究されており，さまざまな分野で応用され，近年，急速な発展を遂げている．小型化・集積化，並列化の長所を有することから広い産業分野において，高付加価値型製品を生み出すための基盤技術として注目され，期待されている．
机译：背景技术通过应用半导体制造工艺来制造微小结构的微加工机械系统（MEMS）已经被广泛研究并应用于各个领域，并且近年来获得了快速的发展。由于它具有小型化，集成化和并行化的优点，因此引起了人们的关注，并有望作为在广泛的工业领域中生产高附加值产品的基本技术。

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