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Electrical Characterization and Parameter Extraction of Junctionless Nanowire Transistors

机译:无结纳米线晶体管的电学表征和参数提取

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摘要

This article presents a review of various methods for extracting the key parameters of junctionless (JL) MOSFETs, namely, the threshold voltage, flat-band voltage, doping concentration, carrier mobility, and parasitic series resistance. The applicability and limitations of different methods are analyzed using numerical simulations and experimental data for planar and tri-gate nanowire JL transistors with various nanowire widths.
机译:本文介绍了提取无结(JL)MOSFET关键参数的各种方法,即阈值电压,平带电压,掺杂浓度,载流子迁移率和寄生串联电阻。使用数值模拟和实验数据分析了具有不同纳米线宽度的平面和三栅极纳米线JL晶体管的不同方法的适用性和局限性。

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