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ナノテクノロジー分野において近年目覚ましい進歩を遂rnげている走査型ブロープ顕微鏡（SPM：Scanning ProbernMicroscope）は、1982年にBinnigとRohrerによって発明rnされた走査型トンネル顕微鏡（STM：Scanning TunnelingrnMicroscope）に端を発している。その後開発された原子間rn力顕微鏡（AFM：Atomic Force Microscope）は、STMとrnは異なり、試料の導電性を必要としないため、様々な材料rnに適用できる利点を持っており、今日までにSPMの最もrn代表的な手法として確立された。ここでは、SPMの概念、rnAFMの特徴、分析事例など、基礎的な内容について紹介rnする。

机译：扫描探针显微镜（SPM）近年来在纳米技术领域取得了显着进步，它起源于Binnig和Rohrer于1982年发明的扫描隧道显微镜（STM：Scanning Tunnelingrn Microscope）。 ing。与STM和rn不同，此后开发的原子力显微镜（AFM）不需要样品的导电性，因此具有适用于各种材料的优点。建立了最有代表性的SPM方法。在这里，我们将介绍SPM的概念，rnAFM的特征以及分析示例等基本内容。

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来源
《繊維学会誌》 |2009年第7期|p246-p248|共3页
作者
村司　雄一;
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作者单位

（株）東レリサーチセンター　表面解析研究部表面解析第1研究室京都大学大学院工学研究科〒520-8567　滋賀県大津市園山3-3-7;

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