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芳香族液晶ポリマーのプラズマ表面改質と銅薄膜との密着力改善

机译：芳香族液晶聚合物的等离子体表面改性及对铜薄膜的附着力改善

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Surface modification of aromatic LCP surfaces with plasma treatment was carried out to improve the adhesive strength at LCP/Cu interfaces. Plasma treatment to a polymer surface is known to introduce functional groups and to bring about etching action thereon. This study was intended to investigate which or both functional group introduction and etching action contributes to adhesive strength improvement. The effect on the adhesive strength of ordinary plasma treatment and remote plasma treatment was evaluated. Remote plasma treatment is possible to irradiate mainly radicals on LCP surface. The following three subjects were discussed in this study: (1) plasma treatment increases the adhesive strength at LCP/Cu interfaces; (2) plasma treatment produces oxygen functional groups and nitrogen functional groups and led to etch LCP surfaces, all of which contribute to adhesive strength; and (3) the oxygen functional groups, nitrogen functional groups, and etching action work simultaneously to enhance adhesive strength by their synergistic effects.%芳香族液晶ポリマー（LCP）は，吸水率が低く，高周波特 性も良好であることから，フレキシプルプリント基板等 としての使用が期待されている．ところが，芳香族LCP 表面は，他の分子との反応性が低く，銅を蒸着などして 堆積させると，実際にはほとんど接着しない．このため，ポリマーの表面に様々な処理を行い，表面を活性化させ，銅とポリマーの接着力を向上させることが必要である．
机译：通过等离子体处理对芳族LCP表面进行了表面改性，以提高LCP / Cu界面的粘合强度。已知对聚合物表面进行等离子体处理会引入官能团并在其上产生蚀刻作用。这项研究旨在调查哪个或两个官能团引入和蚀刻作用有助于提高粘合强度。评估了普通等离子体处理和远程等离子体处理对粘合强度的影响。远程等离子体处理可以在LCP表面上主要照射自由基。本研究讨论了以下三个主题：（1）等离子体处理可提高LCP / Cu界面的粘合强度； （2）等离子处理产生氧官能团和氮官能团并导致蚀刻LCP表面，所有这些都有助于粘合强度； （3）氧官能团，氮官能团和蚀刻作用通过协同作用同时发挥作用，以提高粘合强度。％芳香族液晶ポリマー（LCP）は，吸水率が低く，高周波特性も良好であることころが，芳香族LCP表面は，他の分子との反応性が低く，铜を蒸着などして堆积させると，実际にはほとんど随后しない。このため，ポリマーの表面に様々な处理を行い，表面を活性化させ，铜とポリマーの接着力を向上させることが必要である。

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