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A Two-Color Heterodyne Interferometer Based on Diffraction Grating for Displacement Measurement

机译：基于衍射光栅的双色外差干涉仪用于位移测量

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A two-color heterodyne interferometer based on the movement of the optical diffraction grating is proposed. The method allows us to measure the phase of synthetic wavelength φ_s directly and with high accuracy to extend the range of unambiguity for interferometric measurements by using two close wavelengths. Our experiment results show that the uncertainty in displacement measurement caused by the uncertainty in φ_s is 0.20 μm, smaller than the half of a single wavelength we used. The fringe order of a single wavelength can be determined without ambiguity. The uncertainty in displacement measurement can be improved further by using a single wavelength.
机译：提出了一种基于光衍射光栅运动的双色外差干涉仪。该方法使我们能够直接且高精度地测量合成波长φ_s的相位，从而通过使用两个接近的波长扩展了干涉测量的明确范围。我们的实验结果表明，由φ_s的不确定性引起的位移测量的不确定性为0.20μm，小于我们使用的单个波长的一半。可以明确地确定单个波长的条纹顺序。通过使用单个波长，可以进一步提高位移测量的不确定性。

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