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ダイヤモンドブラックコーティング装置(ICLプロセスイオン化蒸着装置)

机译:金刚石黑涂层设备(ICL工艺电离气相沉积设备)

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摘要

DLC成膜技術の黎明期である1980年代,イオン化蒸着法によるDLC成膜装置として日本で市販された装置である.電子シャワー照射により原料ガスをイオン化し,バイアスを印加した基板にDLC膜を形成するもので,旧ドイッ民主共和国の技術に大幅な改良を加えて安定した成膜プロセスを達成した日本における先駆的プロトタイプ機である.開発•製造した欧亜通機株式会社は現在では廃業に至っているが,その技術は国内の複数の企業に継承され,機械•工具や電子機器部品等への実用化がなされてきた.この炭化水素系ガスを用いたイオン化蒸着法は,DLC成膜の一般的な手法の一つとして様々な工夫が付加され現在に至っている.
机译:在1980年代DLC膜形成技术的曙光下,该装置在日本以电离蒸发法作为DLC膜形成装置在市场上销售,通过电子喷淋照射使原料气体电离,从而在偏压基板上形成DLC膜。它是日本的先驱原型机,通过对前土井民主共和国的技术进行重大改进而实现了稳定的成膜过程,而已开发和制造的EIA Co.,Ltd.现已停产。但是,该技术已被日本多家公司继承,并已在机械工具,电子设备零件等中投入实际使用。这种使用烃类气体的电离气相沉积法通常用于DLC膜的形成。已经添加了各种技术作为实用方法之一,并且已经达到目前。

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    《トライボロジスト》 |2015年第4期|238-238|共1页
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