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首页> 外文期刊>トライボロジスト >エッチングによる表面微細加工
【24h】

エッチングによる表面微細加工

机译：蚀刻精加工

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摘要

市場からの製品に対する微細化要求とその動向rnについて述べ，エッチングによる表面微細加工のrn課題?今後の方向について言及した．まず現状のrnエッチングによる表面微細加工を行い，市場からrn要求の強い微細三次元加工の加工限界を提示するrnと共に服部らがこれまで開発してきたテーパ形状rn加工法と微細高アスペクト比加工法の最新のエッrnチングなどについて述べた．
机译：我们描述了市场对产品小型化的需求及其趋势，并提到了通过蚀刻进行表面微加工的问题以及未来的发展方向。首先，我们通过当前的rn蚀刻进行表面微加工，并提出了对市场对rn有强烈需求的微观三维加工的加工极限。我描述了最新的版本。

著录项

  • 来源
    《トライボロジスト》 |2010年第2期|83-88|共6页
  • 作者

    服部　正;

  • 作者单位

    兵庫県立大学　高度産業科学技術研究所（〒678-1205　兵庫県赤穂郡上郡町光都3-1-2）;

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