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原子間力顕微鏡を用いた摩耗面の時系列観察法とDLC膜のエロージョンへの適用

机译：原子力显微镜对磨损表面进行时间序列观测的方法及其在DLC膜腐蚀中的应用

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摘要

摩耗はさまざまな要因によって発生し，摩耗粉rnの発生・脱落の過程と機構は複雑である．このよrnうな現象の解明では，摩耗の時系列観察が有効なrn手段であることが知られている．これまでに，光rn学顕微鏡による摩耗粉生成過程の観察，走査型rn電子顕微鏡（以下SEM）によるキャビテーションrn壊食過程の観察，SEM内での摩擦試験によるアrnプレシプ摩耗機構の解明などの研究成果が報告rnされている．
机译：磨损是由多种因素引起的，并且磨损粉末rn的产生和损失的过程和机理是复杂的。众所周知，按时间顺序观察磨损是阐明这种现象的有效手段。到目前为止，通过光学显微镜观察磨损碎片的产生过程，通过扫描电子显微镜（SEM）观察气蚀侵蚀的过程，通过SEM的摩擦试验来阐明Arn的磨损机理，等等。报告了研究结果。

著录项

  • 来源
    《トライボロジスト》 |2009年第4期|273-281|共9页
  • 作者

    水野　顕; 岩井善郎;

  • 作者单位

    福井大学 大学院生（〒910-8507　福井県福井市文京3丁目9-1）;

    福井大学 大学院工学研究科 （〒910-8507　福井県福井市文京3丁目9-1）;

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