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光ファイバを用いた高性能水素センサの研究

机译：光纤高性能氢传感器的研究

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SRIでは，水素に敏感な薄膜と光ファイバーネットワークシステムを組み合わせることにより，100ppm～4％の範囲で，検知速度が30秒以下で，かつ高精度を有し，漏れの場所を特定可能な，ユニークな検知システムを開発している。このシステムに用いられる水素センサの開発は，先月号で紹介した，マイクロシステム・イノベーション・センター（μSIC）で行なわれている。このセンターでは，材料開発，化学合成，薄膜蒸着，光ファイバ技術，ミクロ精密加工/構造化（NEMS，MEMSプロセスを含む）などの研究開発が行なわれ，安全，対テロ防衛，バイオ，医療関係のセンサなどを開発している。今月号では，水素ンサの開発について述べたい。
机译：SRI具有对氢敏感的薄膜和光纤网络系统的独特组合，其检测速度在100 ppm至4％的范围内为30秒或更短，准确度很高，并且可以识别泄漏的位置。我们正在开发检测系统。本系统中使用的氢传感器是在上个月的《微系统创新中心》（μSIC）上开发的。在该中心，进行材料开发，化学合成，薄膜沉积，光纤技术，微精密加工/结构化（包括NEMS，MEMS工艺）等研究与开发，以及安全，防恐，生物技术，医疗相关我们正在开发传感器。在本期中，我想讨论氢传感器的发展。

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