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Tunable Fabry-Perot Filter Using Hybrid Integrated Grating and Slot Microstructures

机译：使用混合集成光栅和狭缝微结构的可调法布里-珀罗滤波器

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The design, fabrication, and characterization of an electrostatically tunable optical Fabry–Perot (FP) filter with hybrid integration of grating and slot structures are presented. Using deep reactive ion etching, antireflection grating (ARG) structures are created at the inner wall of the FP resonator to enhance the performance of a tunable FP filter. The moving parts are released by etching the buried oxide layer using hydrofluoric acid vapor. The optical tuning range of the device is 19 nm. Attributed to the ARG structures, the light propagates effectively through the FP resonator. Thus, the Q-factor of the resonant peak is enhanced more than threefold when an FP resonator with ARG structures is compared with an FP resonator using one-slot (Si/air/Si) structure. With the optimized design, an FP resonator comprising of the ARG and two-slot structures shows record-breaking Q-factor, i.e., 9762. [2014-0081]
机译：介绍了具有光栅和缝隙结构混合集成的静电可调光学法布里-珀罗（FP）滤波器的设计，制造和特性。使用深反应离子刻蚀，在FP谐振器的内壁处创建了防反射光栅（ARG）结构，以增强可调谐FP滤波器的性能。通过使用氢氟酸蒸气蚀刻掩埋的氧化物层来释放运动部分。器件的光学调谐范围为19 nm。归因于ARG结构，光有效地传播通过FP谐振器。因此，当将具有ARG结构的FP谐振器与使用一槽（Si / air / Si）结构的FP谐振器进行比较时，谐振峰的 Q 系数提高了三倍以上。通过优化设计，由ARG和两槽结构组成的FP谐振器表现出破纪录的 Q 因子，即9762。[2014-0081]

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