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首页> 外文期刊>Journal of Microelectromechanical Systems >MEMS Spatial Light Modulator for Phase and Amplitude Modulation of Spectrally Dispersed Light
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MEMS Spatial Light Modulator for Phase and Amplitude Modulation of Spectrally Dispersed Light

机译：MEMS空间光调制器，用于频谱分散光的相位和幅度调制

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We present a new micro-electro-mechanical system (MEMS) spatial light modulator (SLM) with a two-dimensional array of tightly-spaced square micromirrors (or pixels) designed to sag (or piston motion). This diffractive MEMS modulator is to be used for independently applying amplitude attenuation and phase control to spectrally-dispersed light along one dimension. The spectral phase and amplitude modulator operate in conjunction with a dispersive optical setup, where spatially resolved frequency components are to be incident onto and independently modulated by the device. The MEMS design is based on two common actuators per array column, in order to set the two degrees of freedom of amplitude and phase for every spectral component. This MEMS SLM is thus optimal in actuator/electrode count, especially when compared to conventional SLM where each pixel is independently actuated. The MEMS sag range is compatible with near-IR wavelengths used in the fiber-optic communication band. $hfill{[2013hbox{--}0040]}$
机译：我们提出了一种新的微机电系统（MEMS）空间光调制器（SLM），该阵列具有二维阵列的紧密间隔的方形微镜（或像素），旨在下垂（或活塞运动）。该衍射MEMS调制器将用于对一维光谱分散的光独立施加振幅衰减和相位控制。频谱相位和幅度调制器与色散光学设置结合使用，其中空间分辨的频率分量将入射到设备上并由设备独立调制。 MEMS设计基于每个阵列列两个公共致动器，以便为每个频谱分量设置振幅和相位的两个自由度。因此，该MEMS SLM在致动器/电极数量上是最佳的，特别是与每个像素独立致动的常规SLM相比。 MEMS垂度范围与光纤通信频段中使用的近红外波长兼容。 $ hfill {[2013hbox {-} 0040]} $

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