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机译:调制集成差分光学传感的微机械振动速率陀螺仪的优化设计和噪声考虑
机译:采用调制积分差分光学传感的加速度计的设计和噪声考虑
机译:采用调制积分差分光学传感的加速度计的设计和噪声考虑
机译:具有光学感应和静电驱动的新型微机械振动速率陀螺仪
机译:解耦振荡模式的微机械振动速率陀螺仪的新设计
机译:微机械振动环陀螺仪。
机译:三轴表面微机械MEMS振动陀螺仪的设计
机译:微机械振动环陀螺仪架构,具有高线性,低正交误差和改进的模式排序
机译:带有微机械隔膜的集成光学干涉仪,用于压力传感