Characterization of surface properties of ordered nanostructures using SEM stereoscopic technique

著录项

• 来源
  《Microelectronic Engineering》 |2011年第8期|p.2687-2690|共4页
• 作者

  A. Mohammadkhani; M. Malboubi; C. Anthony K. Jiang;

  展开▼
• 作者单位

  School of Mechanical Engineering, University of Birmingham, Birmingham, BIS ZTT, UK;

  School of Mechanical Engineering, University of Birmingham, Birmingham, BIS ZTT, UK;

  School of Mechanical Engineering, University of Birmingham, Birmingham, BIS ZTT, UK;

  展开▼
• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  nanosphere photolithography; sem stereoscopic technique; nanostructures; 3d-reconstruction;

  机译：纳米球光刻;SEM立体技术;纳米结构;3D重建;