Analysis and design of a high performance and low cost bio-mass sensor based on the radial contour mode disk resonator

Amir Heidari; Yong-Jin Yoon; Hae-Jin Choi

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Analysis and design of a high performance and low cost bio-mass sensor based on the radial contour mode disk resonator

机译：基于径向轮廓模式圆盘谐振器的高性能低成本生物质传感器的分析与设计

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A high performance and cost effective biosensor is designed based on a radial contour-mode disk resonator. Filling a dielectric material within the capacitive gap, we can achieve low motional resistance (R_x) in a cost-effective manner. The motional resistance of the new device is characterized analytically and validated using 3D-multiphysics simulation. Compared with other biosensors, the introduced biosensor may detect the smaller mass changes with mass sensitivity of -74.68 μm~2/ng (-1617 Hz/ng).

机译：基于径向轮廓模式盘谐振器设计了一种高性能且具有成本效益的生物传感器。在电容间隙内填充介电材料，我们可以以经济高效的方式实现低运动电阻（R_x）。新设备的运动阻力经过分析表征，并使用3D多物理场仿真进行了验证。与其他生物传感器相比，引入的生物传感器可以检测到较小的质量变化，质量灵敏度为-74.68μm〜2 / ng（-1617 Hz / ng）。

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来源
《Microelectronic Engineering》 |2011年第8期|p.1730-1732|共3页
作者
Amir Heidari; Yong-Jin Yoon; Hae-Jin Choi;
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作者单位

School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological University. Singapore 639798, Singapore;

School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological University. Singapore 639798, Singapore;

School of Mechanical Engineering, Chung-Ang University, Seoul 156-756, South Korea;

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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
biosensor; mass sensitivity; radial-contour-mode resonator; motional resistance;

机译：生物传感器;质量灵敏度;径向轮廓模式共振器;运动阻力;

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