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机译:前言

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摘要

This volume of Micro-electronic Engineering contains 294 papers presented at the International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE) held in Genoa, Italy from September 19 to 22 September, 2010. MNE is an international conference on micro- and nanofabrica-tion using lithography and related techniques. The conference brings together engineers and scientists from all over the world to discuss recent progress and future trends in the fabrication and applications of micro- and nanostructures. The MNE2010 Conference was the 36th in a series that started in Cambridge in 1975, most recently held in Copenhagen (2007), Athens (2008), and Ghent (2009) to be followed by MNE 2011 in Berlin.
机译:本卷微电子工程包含294篇论文,这些论文在2010年9月19日至22日在意大利热那亚举行的国际微纳工程学国际会议上发表。MNE是一场有关微纳纳米结构的国际会议。使用光刻技术和相关技术。此次会议汇集了来自世界各地的工程师和科学家,讨论了微结构和纳米结构的制造和应用的最新进展和未来趋势。 MNE2010会议是1975年在剑桥开始的一系列活动中的第36场,最近一次是在哥本哈根(2007年),雅典(2008年)和根特(2009年)举行,随后是2011年在柏林的MNE。

著录项

  • 来源
    《Microelectronic Engineering》 |2011年第8期|p.1659|共1页
  • 作者单位

    Conference Chair and Guest Editor;

    Program Chair and Managing Guest Editor;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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