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Form measurement inside fuel injector nozzle spray holes

机译：喷油嘴喷嘴喷孔内的形状测量

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摘要

Form and roughness measurement inside spray holes of Diesel direct injection (DI) nozzles could be demonstrated for the first time without the necessity of sectioning the hole or making a mold of it. A slender tactile sensor was used with dimensions which were tailored to enable access into millimeter-deep and 100 μm in diameter holes. It offered nanometer vertical and sub-micrometer lateral resolution at a hundreds of microns vertical deflection range and a millimeter-per-second scanning velocity. Nozzles comprising spray holes of 170 and 110 μm in diameter were characterized at different scanning speed and probing force. Characteristic signatures and roughness of the hole wall caused by the machining process could be detected at very good reproducibility during surface profiling at different scanning speeds of 1, 10 and 100 μm/s. Thus, our results prove the potential of the novel sensor for in-process metrology during the manufacturing of injector nozzles.
机译：柴油直喷（DI）喷嘴的喷孔内的形状和粗糙度测量可以首次进行演示，而无需对孔进行切片或模制。使用了细长的触觉传感器，其尺寸经过了定制，可以进入毫米深的直径为100μm的孔。它在数百微米的垂直偏转范围和每秒毫米的扫描速度下提供了纳米的垂直和亚微米横向分辨率。在不同的扫描速度和探测力下表征了包括直径为170和110μm的喷孔的喷嘴。在以1、10和100μm/ s的不同扫描速度进行表面轮廓分析时，可以很好地重现由加工过程引起的孔壁的特征特征和粗糙度。因此，我们的结果证明了新型传感器在制造喷嘴过程中的过程中计量的潜力。

著录项

  • 来源
    《Microelectronic Engineering》 |2009年第6期|984-986|共3页
  • 作者

    Erwin Peiner; Michael Balke; Lutz Doering;

  • 作者单位

    Institut fuer Halbleitercechnik (IHT), Technische Universitaet Braunschweig, Hans-Sommer-Str. 66, D-38106 Braunschweig, Germany;

    Institut fuer Halbleitercechnik (IHT), Technische Universitaet Braunschweig, Hans-Sommer-Str. 66, D-38106 Braunschweig, Germany;

    Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Nano- and Micrometrology, Bundesallee 100, D-38116 Braunschweig, Germany;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    injection nozzle; spray hole; tactile probing; roughness measurement; slender cantilever; piezoresistive;

    机译：喷嘴喷孔触觉探测粗糙度测量细长的悬臂压阻式;

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