Fabrication of a new micro bio chip and flow cell cytometry system using Bio-MEMS technology

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• 来源
  《Microelectronics journal》 |2008年第5期|p.717-722|共6页
• 作者

  Insoo Byun; Jooran Yang; Sekwang Park;

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• 作者单位

  School of Electrical Engineering and Computer Science, Kyungpook National University, 1370 Sankyuk-dong, Buk-gu. Taegu 702 701, Republic of Korea;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 微电子学、集成电路（IC）;
• 关键词

  MEMS (micro electro mechanical system); BOEM (buffered oxide etchant method); ECDM (electro chemical discharge method); UVAM (UV sensitive adhesives method); DNA (deoxyribo nucleic acid);

  机译：MEMS（微机电系统）;BOEM（缓冲氧化物蚀刻剂法）;ECDM（电化学放电法）;UVAM（紫外线敏感粘合剂法）;DNA（脱氧核糖核酸）;