Special Issue of the Conference ‘Smart Sensors, Actuators and MEMS’, within the SPIE Europe Symposium ‘Microtechnologies for the New Millennium’ Dresden, Germany, 4–6 May 2009

Thomas Becker; Ulrich Schmid; Bernd Michel

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Special Issue of the Conference ‘Smart Sensors, Actuators and MEMS’, within the SPIE Europe Symposium ‘Microtechnologies for the New Millennium’ Dresden, Germany, 4–6 May 2009

机译：2009年5月4日至6日在德国德累斯顿举行的SPIE欧洲研讨会“新千年的微技术”内的“智能传感器，执行器和MEMS”会议特刊

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《Microsystem Technologies》 |2010年第5期|p.655-655|共1页
作者
Thomas Becker; Ulrich Schmid; Bernd Michel;
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