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【24h】

TSVベースの3次元化が半導体の基盤技術に

机译:TSV基的三维化成为半导体的基本技术

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摘要

TSV(Si貫通ビア)を使った3次元積層技術は,rn半導体の一般的な製造技術として使われるようrnになると考えている。現在の応用先のほとんどrnはCMOSイメージ・センサーだが,2010年からrn市場規模の大きなメモリーにも広がっていくとrn予測している(図7)。rnわれわれは,2008~2015年におけるTSV加rn工ウエーハの平均年間成長率が,50%以上に達rnすると見ている。特にDRAMやフラッシュ・rnメモリーを重ねた積層メモリーが,2012年以降rnはTSVを適用したSiウエーハの大半を占めるよrnうになる。
机译:我们相信,使用TSV(通过硅过孔)的三维堆叠技术将用作rn半导体的常规制造技术。当前的大多数应用是CMOS图像传感器,但我们预计它们将从2010年开始在市场上扩展到大规模存储器(图7)。我们预计2008-2015年TSV晶圆的年均增长率将超过50%。尤其是,自2012年以来,采用DRAM,闪存和rn存储器堆叠的堆叠存储器将成为大多数已应用TSV的Si晶圆。

著录项

  • 来源
    《日経マイクロデバイス》 |2009年第286期|22-25|共4页
  • 作者

    Jerome BARON;

  • 作者单位

    仏YoLe DeveIoppement社 TechnoIogy Marketing Analyst・MEMS&Advanced Packaging;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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