SPM「Dimension Icon」

長廣　恭明

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SPM「Dimension Icon」

机译：SPM「尺寸图示」

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大型試料対応と高精度測定を両立した走査型プローブ顕微rn鏡（SPM）（図4）。大型試料を非破壊・高速での測定が求めらrnれる品質管理や不良解析の作業現場と，高精度測定が求めらrnれる基礎研究・開発現場の両方に1台で対応できる。最大試rn料寸法は直径210mm，厚さ15mm。そのうち1回の操作で観rn察や測定が可能なスキャン範囲は90mm角。測定精度に関しrnては，センサー自身が原因となる測定誤差のレベルを垂直方向rnで35pm以下に減らした。

机译：扫描探针显微镜rn镜（SPM）可与大样本和高精度测量兼容（图4）。一个单元既可用于质量控制和缺陷分析现场，又可用于需要无损，高速地测量大规模样品的场合，也可用于需要高精度测量的基础研究和开发。最大样本大小为直径210毫米，厚度15毫米。 90毫米见方的扫描区域允许一次操作进行观察和测量。关于测量精度，在垂直方向rn上，由传感器本身引起的测量误差的水平减小到小于35pm。

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来源
《日経マイクロデバイス》 |2009年第287期|95-95|共1页
作者
長廣　恭明;
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