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技術開発を支える検查·分析·測定技術高精度化の要求にこたえて着々と進化

机译:检验,分析和测量技术为技术发展提供支持不断发展,以应对更高的精度要求

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摘要

検査・分析・測定技術は,あらゆる産業の基盤を支える重要な技術の-つだ。特に,これらの技術が大きな役割を担っrnでいる分野の-つが半等価だ。研究開発から量産に至る全ての工程で不可欠な基本的な技術である。3Xnm~rn2Xnmプロセスの開発が進んでいるのを受けて半導体の検査・分析・測定にかかわる装置や技術の進化が加速してきrnた。この一方で,いま注目を集める太陽電池に向けた検査・分析・測定技術に対するニーズも高まっている。
机译:检验/分析/测量技术是支持所有行业基础的重要技术之一。尤其是,这些技术发挥主要作用的领域之一是半等效性。这是一项基本技术,从研发到批量生产,在所有过程中都是必不可少的。随着3Xnm-rn2Xnm工艺的发展,与半导体检查,分析和测量相关的设备和技术的发展也在加速。同时,对太阳能电池的检查,分析和测量技术的需求日益增长,目前正引起人们的关注。

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    《日経マイクロデバイス》 |2009年第291期|92-93|共2页
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