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摘要

今回の会議の大きなテーマの一つは,高屈折率液浸だった。rn2008年5月の「2008 SEMATECH Litho Forum」でニコンがこrnのテーマからの撤退を発表したが,今回はキヤノンが新たに開rn発計画の中止を宣言した。これにより,高屈折率液浸は,開rn発テーマとしての存続が危ぶまれる状況となった。
机译:这次会议的主题之一是高折射率液体浸没。尼康在2008年5月的“ 2008 SEMATECH光刻论坛”上宣布将退出这一主题,但佳能这次又宣布将取消该计划。结果,高折射率浸入存在作为开放主题继续存在的危险。

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    《日経マイクロデバイス》 |2008年第281期|90-97|共8页
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