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高屈折率液浸の開発が終息へ次世代露光はEUVに一本化

机译：高折射率浸没的发展已经结束

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EUV露光の開発が着実に進む一方で，rn次世代露光技術の座をEUVと競ってきrnた高屈折率液浸ま，開発が終息する見rn通しとなった（図A）。ニコンが2008年5rn月に装置開発を中止したのに続き，同年rn9月にキヤノンが開発中止を決めた。露rn光装置大手3社のうち，残るオランダrnASML社は装置開発の継続の有無を明らrnかにしていない。
机译：在EUV曝光技术的发展稳步发展的同时，下一代曝光技术的发展一直在与EUV竞争，并且预计开发将终止（图A）。尼康在2008年5月中止设备开发之后，佳能决定在同年9月中止开发。在俄罗斯三大轻型设备制造商中，剩余的荷兰公司rnASML尚未透露设备开发是否会继续。

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