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PFCsガスの効率的な処理を行うF固定式圧倒的な地球温暖化ガスの排出量削減を実現

机译:通过F-fixing极大地减少了全球变暖气体的排放,可有效处理PFC气体

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摘要

地球温暖化防止の観点から,地球温暖化係数の高いPFCsガスの処理は喫緊の課題となっている。荏原製作所rnは,従来から半導体製造工程で使われているPFCsガスの除害装置の開発を推進している。CVD装置向けにrnは特殊バーナーを採用した燃焼式の装置を開発。従来の燃焼式やヒーター式では難しかったCF4の除害を実rn現した。さらに,エッチング装置向けにF固定式の処理装置を開発。今回の講演ではこのF固定式を中心に解説した。
机译:从防止全球变暖的观点来看,具有高全球变暖潜能的PFCs气体的处理已成为紧迫的问题。 EB原公司正在推进已在半导体制造过程中使用的PFC气体减排系统的开发。对于CVD设备,rn开发了使用特殊燃烧器的燃烧型设备。已经实现了CF 4的去除,这是常规燃烧类型和加热器类型难以实现的。此外,我们开发了用于蚀刻设备的固定F型处理设备。在本讲座中,我主要介绍了此F固定类型。

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    《日経マイクロデバイス》 |2008年第281期|108-109|共2页
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  • 正文语种 jpn
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