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短時間に最適化された検査レシピ

机译：短时间内优化检查配方

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半導体メーカは、歩留まりの向上や監視のために重大な欠陥を検出するパターン付きウェーハ検査装置を利用している。ただ、量産環境では、その欠陥検出能力を最大限に発揮できない場合が多い。欠陥検査装置は、先端デバイス上の歩留まりを阻害する重大欠陥を検出する機能を備えているが、重大欠陥を効率よく検出するためには、質の高い「レシピ」が必要である。レシピでは、検査装置の最適な光学モードと欠陥検出アルゴリズムパラメータの値を設定する。
机译：半导体制造商使用带图案的晶圆检查设备来检测关键缺陷，以提高良率并进行监控。然而，在大规模生产环境中，通常不可能最大化缺陷检测能力。缺陷检查装置具有检测严重缺陷的功能，该缺陷妨碍了先进设备的成品率，但是需要高质量的“配方”以有效地检测严重缺陷。在配方中，设置了检查设备的最佳光学模式和缺陷检测算法参数的值。

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