ナノインプリント技術に再び脚光国内外のLSIメーカーが相次ぎ検討開始

河合 基伸

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ナノインプリント技術に再び脚光国内外のLSIメーカーが相次ぎ検討開始

机译：纳米压印技术再次凸显，日本和海外的LSI制造商开始陆续审查

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「最近になって急に，LSIメーカーから原版の引き合いが増えた。以前と比べて興味の程度が変わっている」（HOYA R＆Dセンターセンター長の流川治氏）。露光装置を使わずに，原版（モールド）を基板に押し当てて微細加工を実現するナノインプリント技術。2004年ごろに米Motorola，Inc．などがLSI向けに検討を進めて話題になった。それが今，再び脚光を集めている。

机译：“最近，LSI制造商对原始版本的咨询数量突然增加了。与以前相比，兴趣程度有所变化，” HOYA研发中心主任长川修（Osamu Nagakawa）说。纳米压印技术，无需使用曝光装置即可通过将原始板（模具）压在基板上来实现微细加工。关于2004年，美国摩托罗拉公司在继续进行LSI调查之后成为一个热门话题。现在再次成为焦点。

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来源
《日経マイクロデバイス》 |2007年第267期|p.90|共1页
作者
河合基伸;
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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类无线电电子学、电信技术;
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