加速する微細・高精細化量産のカギを提る検査・分析・測定技術

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加速する微細・高精細化量産のカギを提る検査・分析・測定技術

机译：检验，分析和测量技术是加快精细和高清大规模生产的关键

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65nmプロセスを使った半導体デバイスの本格量産か始まった。フラットパネル·ディスプレイの大型化と高精細化も加速している。こうした動きを受けて，一段と重要さを増す検査·分析·測定技術。特に量産ラインでは，精度だたけでなく高いスループットも求められる。一見すると相反するニつの要求を両立さぜるため，検査·分析·測定にかかわる装置や技術が大きく進展する機運か高まってきた。

机译：使用65nm工艺的半导体器件的大规模生产已经开始。更大的平板显示器和更高的清晰度正在加速。随着这些发展，检查，分析和测量技术变得越来越重要。特别是在批量生产线中，不仅需要精度，而且还需要高产量。乍一看，为了满足这两个矛盾的要求，在检查，分析和测量相关的设备和技术上取得了显着进步的势头越来越大。

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《日経マイクロデバイス》 |2007年第267期|p.107-112|共6页
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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类无线电电子学、电信技术;
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