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レチクルの品質保証

机译：十字线质量保证

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結晶成長やへイズなどの進行性のレチタル欠陥は、デバイスの歩留まりおよび信頼性に関わる、業界全体が実感している問題となっている。フォトマスクサプライヤからファブに届いたレチタルがクリーンな状態であっても、製造に使用されている間にこれらのレチタルの一部で致命的な欠陥成長が発生する可能性がある。時間の経過と共にレチタルの品質を劣化させる欠陥のカテゴリは、進行性欠陥と呼ばれており、一般に結晶成長、ヘイズ、かび、凝固物として知られている。
机译：诸如晶体生长和雾度之类的渐进性视网膜缺陷已经成为整个工业在器件产量和可靠性方面关注的问题。即使从光掩模供应商到达工厂的光罩处于清洁状态，这些光罩中的一些在制造过程中也会经历致命的缺陷增长。随着时间的推移，降低视网膜质量的缺陷类别称为渐进缺陷，通常称为晶体生长，雾度，霉菌和凝固。

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