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【24h】

空間光変調技術を用いたレーザー加工プロセス内デブリ除去法

机译:采用空间光调制技术的激光加工过程中的Deburi去除方法

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摘要

我々は、直交する偏光と時間差を有するデュアルビームラインのホログラフィックレーザー加工システムを構築した。両ビームは、LCOS-SLMに表示された CGHによって成形され、最大1 nsまでの時間差を与えられた。はじめに、我々は、PBだけをサンプル表面に照射したときのデブリの形状と量を調べた。走査速度が髙い場合、デブリは、細いファイバ状で、広い範囲に散らばっていた。走査速度の低下により、デブリはファィバ状から球状に変化し、その付着範囲の減少と高さの上昇を観測した。これは、単位時間あたりのパルス照射数の増加による熱蓄積のために起こる融解に由来する。
机译:我们构建了具有正交偏振和时间差的双向光束线的全息激光处理系统。两个光束由在LCOS-SLM上显示的CGH模制,并且给予高达1ns的时间差。首先,我们检查仅在样品表面照射PB时碎屑的形状和数量。如果扫描速度是孤独的,碎片略微纤维,并且在宽范围内散射。由于扫描速度降低,碎片从碎片的形状转化为球形形状,以观察其粘附范围和高度的增加。由于每单位时间脉冲辐射的增加,这源于导致热累积导致的熔化。

著录项

  • 来源
    《光アライアンス》 |2019年第4期|32-36|共5页
  • 作者

    早崎 芳夫;

  • 作者单位

    宇都宮大学;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
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