...
首页> 外文期刊>Mechanik >Mikrometrologia wielkości geometrycznych Cz.I. Współrzędnośclowe maszyny pomiarowe
【24h】

Mikrometrologia wielkości geometrycznych Cz.I. Współrzędnośclowe maszyny pomiarowe

机译:几何量的测微第一部分坐标测量机

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

Coraz częściej występuje konieczność wykonania pomiaru elementów o bardzo małych wymiarach, rzędu kilku nanometrów. Tradycyjna współrzędnościowa maszyna pomiarowa (WMP) nie pozwala na realizację takiego zadania przede wszystkim z powodu zbyt małej dokładności i rozdzielczości. Musiały zatem powstać nowe, wyspecjalizowane konstrukcje, które spełniłyby te warunki. Na rynku jest obecnie kilka komercyjnych produktów oraz kilka konstrukcji eksperymentalnych, nazywanych ultraprecyzyjnymi WMP (spotyka się też skrót WMP poprzedzony przedrostkiem mikro- lub nano-) [1÷6]. W tradycyjnej współrzędnościowej technice pomiarowej (WTP) istnieje nieformalny podział, według kryterium wielkości przestrzeni pomiarowej, na: duże (kilka m~3), tradycyjne (ok. 1 m~3) i małe (ok. 0,5 m~3). Największa osiągalna rozdzielczość w tych konstrukcjach to zaledwie 0,1 μm, a to w mikrometrologii o wiele za mało. W dalszej części artykułu do określenia pomiarów w zakresie mikro używany będzie skrót uWMP.
机译:越来越需要测量非常小的尺寸(几纳米量级)的元素。传统的坐标测量机(WMP)不允许执行此任务,主要是因为精度和分辨率不足。因此,必须创建新的专业结构来满足这些条件。当前,市场上有几种商业产品和几种实验构造,称为超精确WMP(也有缩写WMP,其前缀为micro-或nano-)[1÷6]。在传统的坐标测量技术(WTP)中,根据测量空间的大小标准进行了非正式的划分,分为:大(几m〜3),传统(约1 m〜3)和小(约0.5 m〜3)。这些构造中可用的最高分辨率仅为0.1μm,这在微观计量学中太少了。在本文的后面,缩写uWMP将用于指定微范围内的测量。

著录项

  • 来源
    《Mechanik》 |2008年第1期|3638-40|共4页
  • 作者

    PAWEŁ SWORNOWSKM;

  • 作者单位

    Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych. Instytut Technologii Mechanicznej Politechniki Poznańskiej;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 pol
  • 中图分类
  • 关键词

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号