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超精密加工を用いたマイクロ光共振器の作製

机译：使用超精密加工制造微光学谐振器

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摘要

従来，切削加工といえば大きな工作物の加工にしか用いられてこなかったが，超精密加工機の製作精度の大幅な向上によって，マイクロ·ナノフォトニクスの光学素子の作製にも超精密加工の技術を適用することができるようになってきた。我々は切削加工のみで脆性材料であるCaF_2からWGM微小光共振器を作製し，Q値10~6を達成するとともに，その断面形状を精密に設計することで，適切な分散を得ることに成功した。本研究は，超精密加工をマイクロ·ナノフォトニクスの研究に積極的に活用した例としても価値があるのではないだろうか。なお本研究を進めるにあたり，閻紀旺教授（慶應義塾大学理工学部機械工学科）には切削加工に関する貴重なアドバイスを頂戴した。また，莇駿也氏，糸部大貴氏，寒川大氏，鈴木良氏，吉岐航氏をはじめとする多数の学生諸君の協力のもと，本研究を進めることができた。この場を借りて感謝の意を表したい。
机译：常规上，切割仅用于处理大型工件，但是由于超精密加工机的制造精度的显着提高，超精密加工技术也已应用于微和纳米光子学的光学元件的制造。可以申请。我们仅通过切割就成功地由脆性材料CaF_2生产了WGM微光学谐振器，Q值达到10至6，并通过精确设计其横截面形状获得了适当的色散。做到了。作为在微/纳米光子学研究中积极使用超精密加工的一个例子，这项研究可能有价值。为了推进这项研究，江野大学科学技术学院机械工程系的Enoki教授提供了有关切削的宝贵建议。此外，我们能够与Sunya先生，Itobe Daiki先生，Sakawa先生，Ryo Suzuki先生和Wataru Yoshiki先生在内的许多学生合作进行这项研究。我想借此机会表示感谢。

著录项

  • 来源
    《O Plus E》 |2016年第11期|1050-1054|共5页
  • 作者

    田邉　孝純; 柿沼　康弘; 水本　由達; 中川　陽介; 渕田　美夏;

  • 作者单位

    慶應義塾大学理工学部電子工学科;

    慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科;

    慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科;

    慶應義塾大学理工学部電子工学科;

    慶應義塾大学理工学部電子工学科;

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