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ピコメートルの分解能を持つ非接触変位計

机译:具有皮克计分辨率的非接触式位移计

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摘要

マグネスケールは,ピコメートルの分解能を持つ非接触変位計を開発した。同社の高精度スケール「レーザスケール」と同じ格子干渉計タイプで,検出信号波長は138nm,作動距離3mm,測定距離±1mmの範囲を8.4pm(ピコメートル)の分解能で測定できる。
机译:Magnescale开发了一种具有皮克计分辨率的非接触式位移计。它与该公司的高精度“激光标尺”是同一类型的光栅干涉仪,可以检测到138 nm的检测信号波长,3 mm的工作距离和±1 mm的测量距离,分辨率为8.4 pm(比色计)。

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  • 来源
    《O Plus E》 |2012年第4期|p.378|共1页
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  • 正文语种 jpn
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