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Robust design of Si/Si_3N_4 high contrast grating mirror for mid-infrared VCSEL application

机译：用于中红外VCSEL应用的Si / Si_3N_4高对比度光栅镜的坚固设计

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A Si/Si_3N_4 high contrast grating mirror has been designed for a VCSEL integration in mid-infrared (λ = 2.65 μm). The use of an optimization algorithm which maximizes a VCSEL mirror quality factor allowed the adjustment of the grating parameters while keeping large and shallow grating pattern. The robustness with respect to fabrication error has been enhanced thanks to a precise study of the grating dimension tolerances. The final mirror exhibits large high reflectivity bandwidth with a polarization selectivity and several percent of tolerance on the grating dimensions.
机译：为中红外（λ= 2.65μm）的VCSEL集成设计了Si / Si_3N_4高对比度光栅镜。使用最大化VCSEL反射镜品质因数的优化算法，可以在保持较大和较浅光栅图案的同时调整光栅参数。由于对光栅尺寸公差的精确研究，提高了制造误差的鲁棒性。最终的反射镜展现出大的高反射率带宽，并具有偏振选择性和光栅尺寸公差的百分之几。

著录项

  • 来源
    《Optical and quantum electronics》 |2012年第5期|p.169-174|共6页
  • 作者

    C. Chevallier; N. Fressengeas; F. Genty; J. Jacquet;

  • 作者单位

    Supelec, 2 rue Edouard Belin, 57070 Metz, France;

    LMOPS, Laboratoire Mat&iaux Optiques, Photonique et Systemes, EA 4423, Unite de Recherche Commune a l'Universite Paul Verlaine, Metz et Supelec, 2 rue Edouard Belin, 57070 Metz, France;

    Supelec, 2 rue Edouard Belin, 57070 Metz, France;

    Supelec, 2 rue Edouard Belin, 57070 Metz, France;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    high contrast grating mirror; mid-infrared VCSEL; robust design;

    机译：高对比度光栅镜;中红外VCSEL;坚固的设计;

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