Far-field spatially angle-resolved scattering measurements: practical way to recover surface topography

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• 来源
  《Optical engineering》 |2014年第9期|092012.1-092012.7|共7页
• 作者

  Myriam Zerrad; Michel Lequime; Claude Amra;

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• 作者单位

  Aix Marseille Universite, CNRS, Centrale Marseille, Institut Fresnel, UMR 7249, Marseille 13013, France;

  Aix Marseille Universite, CNRS, Centrale Marseille, Institut Fresnel, UMR 7249, Marseille 13013, France;

  Aix Marseille Universite, CNRS, Centrale Marseille, Institut Fresnel, UMR 7249, Marseille 13013, France;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  scattering; surface roughness; surface topography; bi-directional reflectance distribution function; optical metrology;

  机译：散射;表面粗糙度;表面形貌双向反射率分布函数;光学计量;