Correction method for segmenting valid measuring region of interference fringe patterns

Pengcheng Yang; Suping Fang; Leijie Wang; Lei Meng; Masaharu Komori; Aizoh Kubo

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Correction method for segmenting valid measuring region of interference fringe patterns

机译：干涉条纹图案有效测量区域分割的校正方法

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Segmenting the valid measuring region from an interferogram is an important step in the grazing incidence interferometry, which is related to the accuracy of the measurement result. For the spurious fringes which are generated by the diffuse reflection of the chamfering in the edge of the object surface, we propose a method-spin segment to correct the result of the image segment. First, a phase schematic diagram whose stripe feature is clearer than the original interference fringe patterns is generated. Next, the difference of the gray gradient between the fringe's local normal direction and local tangent direction is calculated to judge the valid measurement region. The principles of selecting some parameters are summarized and the calculation steps are shown. To examine the correction method, the results of an experimental application of spin segment are given to verify the feasibility and accuracy.

机译：从干涉图分割有效的测量区域是掠入射干涉测量法中的重要步骤，这与测量结果的准确性有关。对于由倒角在物体表面边缘的漫反射所产生的杂散条纹，我们提出了一种自旋分段来校正图像分段的结果。首先，生成条纹特征比原始干涉条纹图案更清晰的相位示意图。接下来，计算条纹的局部法线方向和局部切线方向之间的灰度梯度之差，以判断有效的测量区域。总结了选择一些参数的原理，并显示了计算步骤。为了检验校正方法，给出了自旋节段实验应用的结果，以验证可行性和准确性。

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来源
《Optical engineering》 |2011年第9期|p.095602.1-095602.6|共6页
作者
Pengcheng Yang; Suping Fang; Leijie Wang; Lei Meng; Masaharu Komori; Aizoh Kubo;
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作者单位

Xi'an Jiaotong University State Key Laboratory of Manufacturing Systems Engineering Xi'an, 710049, China;

Xi'an Jiaotong University State Key Laboratory of Manufacturing Systems Engineering Xi'an, 710049, China;

Xi'an Jiaotong University State Key Laboratory of Manufacturing Systems Engineering Xi'an, 710049, China;

Xi'an Jiaotong University State Key Laboratory of Manufacturing Systems Engineering Xi'an, 710049, China;

Kyoto University Department of Precision Engineering Faculty of Engineering Yoshida Honmachi, Sakkyo-ku Kyoto 606-8501, Japan;

Kyoto University Department of Precision Engineering Faculty of Engineering Yoshida Honmachi, Sakkyo-ku Kyoto 606-8501, Japan;

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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
laser interferometry; interference fringe pattern; image segment; gear tooth flank;

机译：激光干涉仪干涉条纹图案;图像片段;齿轮齿侧面;

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