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Design of a high sensitivity emitter-detector avalanche photodiode imager using very high transmittance, back-illuminated, silicon-on-sapphire

机译:使用非常高的透射率,背照式,蓝宝石上的硅的高灵敏度发射器-探测器雪崩光电二极管成像器的设计

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摘要

We present a detailed design study for a novel solid-state focal plane array of silicon avalanche photodiodes (APDs) using an advanced silicon-on-sapphire substrate incorporating an antireflective bilayer consisting of crystalline aluminum nitride (AlN) and amorphous, non-stoichiometric, silicon rich, silicon nitride (a-SiNX10 in active detection mode for Lambert surfaces at 20,000 m.
机译:我们目前使用先进的蓝宝石硅衬底结合了由晶体氮化铝(AlN)和非晶态非化学计量组成的抗反射双层结构,对新型硅雪崩光电二极管(APD)固态焦平面阵列进行详细设计研究。富硅氮化硅(a-SiNX10在20,000 m处处于Lambert表面的主动检测模式。

著录项

  • 来源
    《Optical Engineering》 |2012年第6期|p.1-22|共22页
  • 作者

    Alvin G. Stern;

  • 作者单位

    AG STERN, LLC, Newton, Massachusetts 02467;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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