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A super-resolution Fresnel zone plate and photon sieve

机译：超分辨率菲涅耳波带片和光子筛

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摘要

Realizing a smaller or sharper diffractive center spot is a valuable research aim in soft X-ray focus and other related research applications. Fresnel zone plates (FZP) and photon sieves (PS) are often used to focus the X-rays or other wavelength light at present. Here, we show that combination of a super-resolution phase mask (SPM) and an FZP (or PS) as one diffractive optical element can realize a smaller or sharper diffractive center spot without significantly increasing the fabrication difficulty. All these diffractive phase elements can be applied to beam shaping, mask-less lithography, energy congregation in high power lasers, soft X-rays focus, and any other field that requires a smaller or sharper diffractive center spot.
机译：在软X射线聚焦和其他相关研究应用中，实现更小或更锐利的衍射中心点是有价值的研究目标。目前，通常使用菲涅耳波带片（FZP）和光子筛（PS）来聚焦X射线或其他波长的光。在这里，我们表明，将超分辨率相位掩模（SPM）和FZP（或PS）作为一个衍射光学元件的组合可以实现更小或更锐利的衍射中心点，而不会显着增加制造难度。所有这些衍射相位元素都可以应用于光束整形，无掩模光刻，大功率激光器中的能量聚集，柔和的X射线聚焦以及任何其他需要较小或更锐化衍射中心点的领域。

著录项

  • 来源
    《Optics and Lasers in Engineering》 |2010年第8期|p.760-765|共6页
  • 作者

    Jia Jia; Changqing Xie; Ming Liu; Lixi Wan;

  • 作者单位

    Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, PR China;

    Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, PR China;

    Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, PR China;

    Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, PR China;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    photon sieve; fresnel zone plate; super-resolution; diffractive optics;

    机译：光子筛菲涅耳带板;超分辨率衍射光学;

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