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高感度な深紫外線センサの開発: 光電子増倍管から固体素子へ

机译:高灵敏度深紫外传感器的开发:从光电倍增管到固体元素

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摘要

ここまで説明してきたAlGaN/AlGaN-MSMセンサはUVC-LEDとの組み合わせによるガス検知や,炎センサとして用いることを主眼としている。近年,UVC-LEDの開発から受光デバイス側へ研究開発がシフトしていく傾向を見せており,より高感度なUVCセンサが求められていくことだろう。本検討では3×3 mmという非常に小型の固体センサを実証した。その受光感度は10~6 A/Wであり,リジェクション比も〜10~6と固体素子の世界最高値を報告し,固体素子でもPMTsに匹敵するUVCセンサが実現可能であるというポテンシヤルを示した。現状では応答速度など,改善すべき点も残る。しかし,回路設計のよって解決できると筆者らは考えている。今後,小型で高感度といった特徴を活かして,従来のUVCセンサでは搭載が不可能であった新たな用途も含め,幅広く使用されることを期待したい。
机译:上面已经用AlGaN / AlGaN-MSM传感器描述为气体检测的组合,并且通过与UVC-LED组合使用作为火焰传感器。近年来,研究和开发往往会从UVC-LED开发转向接收设备侧,并且需要更高的灵敏度UVC传感器。在该研究中,证明了称为3×3mm的非常小的固体传感器。光接收灵敏度为10至6A / W,抑制比还报告世界上最高值10至6和固体元素,并且表示可以通过固态元件或UVC传感器实现的电位PMTS。我是。目前,还有要点的要点,例如响应速度。但是,我认为作者可以通过电路设计解决。在未来,我们希望期望广泛的使用,包括新的和高灵敏度的功能,包括传统UVC传感器不可能的新应用。

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