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Sputtering at grazing ion incidence: Influence of adatom islands

机译：掠射离子入射时的溅射：吸附原子岛的影响

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Yudi Rosandi;Alex Redinger;Thomas Michely;Herbert M. Urbassek;%When energetic ions impinge at grazing incidence onto an atomically flat terrace, they will not sputter. However, when adatom islands (containing N atoms) are deposited on the surface, they induce sputtering. We investigate this effect for the specific case of 83°-incident 5 keV Ar ions on a Pt (111) surface by means of molecular-dynamics simulation and experiment. We find that-for constant coverage Θ-the sputter yield has a maximum at island sizes qf N≌ 10-20. A detailed picture explaining the decline of the sputter yield toward larger and smaller island sizes is worked out. Our simulation results are compared with dedicated sputtering experiments, in which a coverage of Θ=0.09 of Pt adatoms are deposited onto the Pt (111) surface and form islands with a broad distribution around a most probable size of N≌ 20.
机译：Yudi Rosandi； Alex Redinger； Thomas Michely； Herbert M. Urbassek；％当高能离子以掠入射入射到原子平坦的平台上时，它们不会溅射。但是，当吸附原子岛（含N原子）沉积在表面上时，它们会引发溅射。我们通过分子动力学模拟和实验研究了在Pt（111）表面上发生83°入射5 keV Ar离子的特定情况下的这种影响。我们发现，对于恒定的覆盖角θ，在岛尺寸qfN≌10-20时，溅射产量具有最大值。制作了一张详细的图片，解释了溅射产量朝着越来越大的岛尺寸减小的趋势。我们的模拟结果与专用溅射实验进行了比较，在该实验中，Pt原子的Θ= 0.09的覆盖层沉积在Pt（111）表面上，并形成了一个岛，该岛在N broad 20的最大可能尺寸附近分布较宽。

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