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首页> 外文期刊>Plasma Science & Technology >The Diagnosis of Plasma Parameters in Surface Alloying Technique by Optical Emission Spectrometry
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The Diagnosis of Plasma Parameters in Surface Alloying Technique by Optical Emission Spectrometry

机译：用发射光谱法诊断表面合金化中的等离子体参数。

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Electron density (Ne) in a glow discharge plasma for the surface alloying technique is diagnosed by optical emission spectrometry (OES). With CH_4 as the feeding gas, Ne is obtained by comparing the Hβ spectrum according to the Stark broadening effect. It is noticed that Ne varies with the working pressures (30 Pa to 70 Pa) and cathode voltages (500 V to 1000 V), respectively. Due to an abnormal glow discharge, Ne is between 1. 71 x 10~(15) /cm~3 to 6.64 x 10~(15) /cm~3 and increases rapidly with working gas pressures and cathode voltages. The results show that OES is a useful method to measure the plasma parameters in a surface alloying glow discharge plasma.
机译：通过光发射光谱法（OES）诊断用于表面合金化技术的辉光放电等离子体中的电子密度（Ne）。以CH_4作为进料气，根据Stark加宽效应通过比较Hβ光谱获得Ne。注意到Ne分别随工作压力（30Pa至70Pa）和阴极电压（500V至1000V）而变化。由于异常辉光放电，Ne在1. 71 x 10〜（15）/ cm〜3至6.64 x 10〜（15）/ cm〜3之间，并随着工作气体压力和阴极电压而迅速增加。结果表明，OES是测量表面合金辉光放电等离子体中等离子体参数的有用方法。

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